Koncentrační tábor určený původně pro polskou politickou opozici byl založen 20. května 1940 na místě bývalých vojenských kasáren u města Oświęcim. Později sem byli přiváženi i sovětští váleční zajatci, homosexuálové a zločinci z Německa a židé z okolí.
V říjnu 1941 byl založen vyhlazovací tábor Osvětim II Březinka, který sehrál přední úlohu v rámci „konečného řešení židovské otázky", a o rok později pracovní tábor Osvětim III Monovice (Monowitz) zvaný též Buna. Kromě nich vzniklo ještě kolem 40 dalších satelitních táborů na otrocké práce, z nichž některé spadaly správně pod Březinku, jiné pod Bunu. Mezi největší patřily tábory Blechhammer, Althammer a Gleiwitz I. - IV.
V původním (tzv. kmenovém) táboře Osvětim I se počet vězňů pohyboval okolo 16 000, v roce 1942 však dosáhl 20 000. Jako v jiných koncentračních táborech, i zde vězni umírali vysíleni těžkou prací, bitím a podvýživou. Za porušení táborového řádu se posílalo do trestného bloku 11, kde byly také 3. srpna 1941 poprvé vyzkoušeny účinky cyklonu B. Od podzimu 1941 do prosince 1942 v táboře fungovala plynová komora a krematorium.
Počet obětí kmenového tábora Osvětim I se odhaduje na 70 000 lidí, převážně politických vězňů z Polska a válečných zajatců z východní fronty. Když sem 27. ledna 1945 dorazili sovětští vojáci, našli 7 600 přeživších. Ostatní vězni z celého táborového komplexu (přibližně 58 000 lidí ještě schopných chůze) byli nuceni se vydat na tzv. pochody smrti. Na těchto pěších transportech směrem na západ do jiných táborů zemřelo kolem 15 000 z nich.